等离子清洗机也叫等离子清洗机，或者等离子表面处理器，是一种全新的高科技技术，利用等离子体常规清洗方法无法达到预期的效果。等离子体是物质的一种状态，也称为物质的第四态，与一般的固液三态不同。施加足够的能量，使其离化，即为等离子态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。而等离子清洗机就是利用这些活性成分的性质来处理样品表面，从而达到清洗、涂层、改性、光刻胶灰化的目的。
等离子清洗机的清洗原理：
等离子体是物质的一种存在状态，物质通常以固体、液体、气体三种状态存在，但在某些特殊情况下，也有第四种状态存在，例如地球大气中电离层中的物质。以下物质存在于等离子体状态：电子处于高速运动状态；中性原子、分子、原子团(自由基)处于激活状态；离子化原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质整体上仍处于电中性状态。
本发明涉及一种无序、高能、高能、高能等离子体，在真空腔中通过等离子体轰击清洁被清洁的产品表面.以达到清洁目的。
