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紫外臭氧清洗机的历史及2个优势

   2021-12-01 仪品网仪品网1090
核心提示:70年代中期美国军用电子技术与器件实验室采用紫外线照射清洗石英晶片,取得了令人满意的效果。本文主要讲述了他的历史及优势,目前,紫外臭氧清洗机广泛应用于半导体,电子学,纳米技术,化学,生物学,光学等领域。

70年代中期美国军用电子技术与器件实验室采用紫外线照射清洗石英晶片,取得了令人满意的效果。但是,美国在较长的时间里紫外线表面清洗技术主要在军事领域中进行研究性应用。到九十年代初,日本和美国先后将 紫外臭氧清洗机用于民用光电产品的工业生产过程中,并开始向国内个别外资 LCD企业提供 紫外清洁机,要求其技术保密。目前,紫外臭氧清洗机广泛应用于半导体,电子学,纳米技术,化学,生物学,光学等领域。


紫外臭氧清洗机


虽然表面清洗和制程方法有多种选择,但紫外臭氧清洗机显示出优于其他方法的几个优点。而传统清洗方式分别为干法清洗和湿法清洗两种方式:

相对于干式清洗,紫外臭氧清洗机基片损坏较小。离子轰击造成的电荷损伤是等离子体处理中的一大难题。这将引起装置电性能的退化。紫外臭氧清洗机处理利用氧自由基来提供表面处理,而无需等离子体放电。由于它不需要特别的真空室、气体或特殊设备,它是等离子体蚀刻的一种经济、高效的替代品。


实验室清洗机


与湿式清洗相比,紫外臭氧清洗机无有害废水。湿式清洗需要处理化学废水。与湿式清洗相比,紫外臭氧清洗机处理是一个完全干燥的过程。紫外线臭氧清洗机将配备臭氧清洗装置,废气臭氧将在系统中分解,不会导致清洗室内臭氧含量过高,造成危害。紫外臭氧清洗机也可配置成连续加载的清洗线,并可与DI水冲洗系统耦合,彻底清除表面的颗粒。

由此可见紫外臭氧清洗机的优点就一目了然了,而且社会一直在进步,科学也一直在发展,相信总有一天我们的科学会走在前沿。

 
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