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离子溅射仪的8个注意事项

   2021-12-28 仪品网仪品网690
核心提示:离子溅射仪在使用时,需要额外注意以下8点,保护好仪器,尽量延长使用寿命。

离子溅射仪的操作注意事项:


离子溅射仪


1、一般而言作用距离是可以调节的,距离越近,溅射速度越快,但热损伤越大。

2、真空压下,离子流速越大,溅射速度越快,电子轰击样品产生的热量越大,所产生的热量就越大,所产生的热量就越大,真空度越低, I越小,溅射速度越慢,原子结晶晶粒越细,电子轰击样品产生的热就越小。

3、加速度电压是固定的,而且可以调节,加速电压越高,对试样的热损越大。通常采用金属靶的比例范围。

4、一些热敏感的样品,需要冷却、水冷或帕尔贴冷却,也可使用磁控设备,将电子像电磁透镜那样与样品分离。这种改造后,当然要增加很高的费用,但能溅射到石蜡表面的金属层,不会造成任何伤害!相比之下,高成本还是可以带来很多好处的。

5、真空中杂质越多,涂层质量越差。一般来说,黄金相对稳定,可以使用空气作为等离子气源,而许多其他目标需要惰性气体。

6、随着气体原子序数的增加,动量增大,溅射速度加快,但晶粒将变粗,形成连续的膜层变厚。

7、真空室的清洁对于优质的镀膜是非常有利的。

8、不允许机械真空泵长期保持真空极限,否则容易反油。

离子溅射仪在使用时,需要额外注意以上8点,保护好仪器,尽量延长使用寿命。

 
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