离子溅射仪的操作注意事项：
1、一般而言作用距离是可以调节的，距离越近，溅射速度越快，但热损伤越大。
2、真空压下，离子流速越大，溅射速度越快，电子轰击样品产生的热量越大，所产生的热量就越大，所产生的热量就越大，真空度越低， I越小，溅射速度越慢，原子结晶晶粒越细，电子轰击样品产生的热就越小。
3、加速度电压是固定的，而且可以调节，加速电压越高，对试样的热损越大。通常采用金属靶的比例范围。
4、一些热敏感的样品，需要冷却、水冷或帕尔贴冷却，也可使用磁控设备，将电子像电磁透镜那样与样品分离。这种改造后，当然要增加很高的费用，但能溅射到石蜡表面的金属层，不会造成任何伤害！相比之下，高成本还是可以带来很多好处的。
5、真空中杂质越多，涂层质量越差。一般来说，黄金相对稳定，可以使用空气作为等离子气源，而许多其他目标需要惰性气体。
6、随着气体原子序数的增加，动量增大，溅射速度加快，但晶粒将变粗，形成连续的膜层变厚。
7、真空室的清洁对于优质的镀膜是非常有利的。
8、不允许机械真空泵长期保持真空极限，否则容易反油。
离子溅射仪在使用时，需要额外注意以上8点，保护好仪器，尽量延长使用寿命。
