紫外臭氧清洗机 (UVO)是一种简单、经济、快速、高效的材料表面清洁的实验室设备，可迅速清除大部分无机基质(如石英、硅片、金、镍、铝、砷化镓、氧化铝等)上的有机污染物。
紫外臭氧清洗机的作用是：通过紫外线和臭氧去除衬底表面的油脂和有机物，使其去除，达到清洁效果。与此同时，改变基板表面的亲水性，优化基板上油墨的印刷效果。
紫外臭氧清洗机处理不同衬底时的效果：
1、对于表面较脏、油污较多的衬底做清洗，用紫外臭氧清洗机清洗后的结果为疏水性增加，效果较为明显。（如普通PET）
2、对于表面做过有机涂层，亲水性较好的衬底做清洗，用紫外臭氧清洗机清洗后的结果为疏水性增加，效果比较明显（如预涂PET）
3、对较干净且未进行有机涂层处理的底面进行清洗，紫外臭氧清洗机清洗后，其效果不明显。
紫外臭氧清洗机清洗机过程中，由于辐照强度、辐照时间等因素的影响较大，因此存在消毒死角。臭氧量灭菌速度快，频谱灭菌能力强，消毒不留死角，其效果可达普通紫外线消毒15倍，无二次污染，既可消毒物体表面，也可清除室内存在的甲醛、苯、烟味等有害气体。
紫外光能杀死包括细菌繁殖体、芽胞、分支杆菌、病毒、真菌、立克次体、支原体等多种微生物，其光谱范围很广。由内而外造成破坏，使有害物质死亡。
由此可以看出紫外臭氧清洗机对于表面较脏、油污较多的衬底和表面做过有机涂层，亲水性较好的衬底的清洗效果比较好，并且紫外臭氧清洗机杀菌效果也优于普通紫外线。
