离子减薄仪是材料科学领域中常用的仪器，离子型减薄仪器具有快速制样速度，能够用最少的成本制造出高品质的 TEM样品。离子减薄仪能快速、便捷地进行操作，配置了低能离子枪功能，尤其适用于能量敏感样品的减薄。配有液氮冷台架，对温度敏感的试样尤其适用。透射电子显微镜(TEM)样品制备了多种材料，如陶瓷、半导体、金属和合金，是离子减薄仪的主要用途。
离子减薄仪的工作原理
氩气电离采用高压，在电场的作用下，氩离子轰击样品表面。在氩离子的持续轰击下，样品慢慢减薄，一直到使透射电镜观察要求满足，此即为离子减薄仪的工作原理。氩离子化抛光仪与离子减薄仪有同样的原理，它还可以用氩离子轰击试样表面，使试样表面平整光滑，所以基本上不需要做太多改动。
离子减薄仪为专门为透射样品的制备而设计的仪器（透射电镜样品为厚度为几微米，直径为三毫米的薄片）。为了使离子减薄仪工作条件得到满足。要求进行前处理的扫描电子显微镜样品，首先把样品切成一毫米厚的薄片，然后用砂纸磨光样品，磨样时，砂纸由粗到细，由粗到细。
透射电镜样品具有非常小的尺寸，需要在载片中间的小孔上粘样品。扫描电镜观察的样品尺寸要远远大于透射样品。为了提高效率，一次可以多放几个样品，用热熔胶固定在样品台上。之后要做的工作是调整工作参数，包括电压、氩离子流、样品倾角、抛光时间等。增大加工电压和氩离子流量可以提高抛光效率，但过高则易损坏工件。
所以在使用离子减薄仪的过程中要格外注意它的电压，以免造成损失。
