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离子减薄仪的定义及工作原理

   2021-10-29 仪品网仪品网1170
核心提示:离子减薄仪是材料科学领域中常用的仪器,离子型减薄仪器具有快速制样速度,能够用最少的成本制造出高品质的 TEM样品。,本文讲解了离子减薄仪的定义以及工作原理。

离子减薄仪是材料科学领域中常用的仪器,离子型减薄仪器具有快速制样速度,能够用最少的成本制造出高品质的 TEM样品。离子减薄仪能快速、便捷地进行操作,配置了低能离子枪功能,尤其适用于能量敏感样品的减薄。配有液氮冷台架,对温度敏感的试样尤其适用透射电子显微镜(TEM)样品制备了多种材料,如陶瓷、半导体、金属和合金,是离子减薄仪的主要用途。


离子减薄仪


离子减薄仪的工作原理

氩气电离采用高压,在电场的作用下,氩离子轰击样品表面。在氩离子的持续轰击下,样品慢慢减薄,一直到使透射电镜观察要求满足,此即为离子减薄仪的工作原理。氩离子化抛光仪与离子减薄仪有同样的原理,它还可以用氩离子轰击试样表面,使试样表面平整光滑,所以基本上不需要做太多改动。

离子减薄仪为专门为透射样品的制备而设计的仪器(透射电镜样品为厚度为几微米,直径为三毫米的薄片)。为了使离子减薄仪工作条件得到满足。要求进行前处理的扫描电子显微镜样品,首先把样品切成一毫米厚的薄片,然后用砂纸磨光样品,磨样时,砂纸由粗到细,由粗到细。

透射电镜样品具有非常小的尺寸,需要在载片中间的小孔上粘样品。扫描电镜观察的样品尺寸要远远大于透射样品。为了提高效率,一次可以多放几个样品,用热熔胶固定在样品台上。之后要做的工作是调整工作参数,包括电压、氩离子流、样品倾角、抛光时间等。增大加工电压和氩离子流量可以提高抛光效率,但过高则易损坏工件。

所以在使用离子减薄仪的过程中要格外注意它的电压,以免造成损失。

 
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