离子减薄仪可对金属、非 金属、陶瓷、矿物、半导体、骨骼、牙齿等几乎所有固体材料进行精密减薄处理。为确保离子减薄仪处理样品符合要求,操作人员一定要充分了解离子减薄仪的注意事项。
离子减薄仪注意事项一:日常关机
平常结束使用之后没有必要关机
离子减薄仪注意事项二:停电关机
1、对氩气钢瓶关紧与否进行确认。
2、将总电源关掉。
离子减薄仪注意事项三:复电开机
1、将氩气钢瓶打开
2、将总电源打开
3、对离子枪进行吹扫,从而将离子枪表面水气去除,防止由于空气污染导致离子枪不稳定,当室内压力比5-3e帕要低时,将两个气阀开关打开,净化15分钟,当离子枪束流值在在5KeV,比8μA低时能够停止。
4、必须要等到真空度达到5-4e帕才能够进行正常的工作。
5、当将离子枪拆下又重新装回需要对离子枪束流和离子束位置进行调整
离子减薄仪技术指标
1、离子减薄仪样品台倾斜范围:-120到210度,精度为0.1度
2、离子减薄仪SEM平面研磨台:最大φ25毫米×12毫米,TEM和FIB样品台:φ3毫米。
3、离子减薄仪能够设定终止加工透光量阈值来使远程控制得以实现。
4、离子减薄仪的冷冻系统使制样过程温度不超过25摄氏度得到保证。
5、离子减薄仪的独立双氩离子源,能够倾斜±45度。
6、离子减薄仪的10度范围内小角度减薄单面和双面,能够使大面积离子抛光或减薄得以实现。
7、离子减薄仪的粒子能量:800伏-10千伏可调,补偿0.1千伏,离子束流:最高4.5毫安
以上就是离子减薄仪的注意事项和技术指标,由于离子减薄仪应用广泛,所以一定要对它的注意事项和操作规程牢记及熟练掌握,避免造成重大影响。