通过认证 
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 800，由德国普发研发制造， 抽速能够达 790 l/s 的涡轮分子泵。分子泵占地面积小， 高气通量和高抽吸能力。集成驱动电路， 适用于工业环境， 通过保护等级 IP54， 半导体 S2， UL / CSA 认证。通过控制器， 监控运算数据保证分子泵的最大安全性。涡轮分子泵 HiPace 800 可选控制器 TC 400 或 TCP 350， 另有分子泵 HiPace 800P 因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工业领域。
涡轮分子泵抽速范围10 至 2700 L/S，转速最高 90,000 rpm，极限真空最大 1E-11 mbar，对小分子气体具有更高的压缩比，实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时。普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用，推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用。
涡轮分子泵 HiPace 800 技术参数
|
分子泵型号 |
接口 DN |
抽速 l/s |
压缩比 |
最高启动压强mbar |
极限压力 |
全转速气体流量hPa l/s |
启动时间 |
重量 |
|||
|
进气口 |
排气口 |
氮气 |
氦气He |
氢气 H2 |
氮气 |
氮气N2 |
hPa |
氮气N2 |
min |
kg |
|
|
HiPace 800 |
200 |
25 |
790 |
700 |
580 |
> 1X1011 |
11 |
< 1X10–7 |
6.5 |
2 |
12.8 – 19.1 |
涡轮分子泵 HiPace 800 P 系列, 因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工业领域.
涡轮分子泵应用 HiPace 800 应用
镀膜: 光伏, CD / DVD / PVD
工业: 灯管制造
研发: 纳米技术, 生物技术
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, CVD, Beamline, Inspection
涡轮分子泵 HiPace 800 对不同气体的抽速
涡轮分子泵 HiPace 800 尺寸图：
涡轮分子泵 HiPace 800 目前在售型号
分子泵 HiPace 800 TC 400 DN 200 ISO-F
分子泵 HiPace 800 TC 400 DN 200 CF-F
分子泵 HiPace 800 TC 400 DN 200 ISO-K
分子泵 HiPace 800 TC 400 DN 200 ISO-F
分子泵 HiPace 800 TCP 350 DN 200 ISO-K
分子泵 HiPace 800 TCP 350 DN 200 CF-F
分子泵 HiPace 800 TCP 350 DN 200 ISO-F
分子泵 HiPace 800 P TC 400 DN 200 ISO-K
分子泵 HiPace 800 P TC 400 DN 200 CF-F
分子泵 HiPace 800 P TC 400 DN 200 ISO-F
