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惰性离子源，为确保精确定量和高灵敏度，包括检测器表面在内的整个GC/MSD 流路必须保持高度惰性。制造惰性离子源的材料与Extractor EI 源的惰性材料相同，可程序升温至350 °C，能够进行痕量水平的检测以及SVOC、VOC 分析（请参阅“不同应用中离子源的选择”）。
适用于Agilent 5977A 系列离子源的孔径
| 孔径 | 3 mm | 6 mm | 9 mm |
| 不锈钢离子源 | 05971-20134 | 05971-20134 | — |
| 惰性离子源 | G2589-20100 | G2589-20045 | — |
| Extractor EI 源 | G3870-20444 | G3870-20448 | G3870-20449 |
