主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统,能够在宽频率范围内为电子显微镜与类似的大型研究仪器提供优秀的主动隔振性能(从0.5 Hz开始)。平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声,帮助用户从显微镜上获得更多收益,并且平台采用了低调的模块化设计,无需为大多数仪器(包括大多数SEM)安装所需的升降设备,从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台,轮廓仪防震台,电子太平防震台,超快激光系统防震台,时频系统防震台,大型半导体设备防震台,激光设备主动防震!
组装有检测和制作设备的地面多多少少会有振动。假如这些振动对设备造成不良影响,最有效的解决方法则是使用隔振台(减震台),便于营造最适合该设备的条件。主动式防震台-隔振台-减震台-AVI-600使用电气控制,根据对传入振动施加反向的力来及时消除振动。感应器持续监测振动,并根据该数据,执行器沿相对方向形成作用力,并持续形成最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。主动式防震台-隔振台-减震台-AVI-600采用先进的隔振技术,适用任何研究情况下,可以隔离6个自由度方向上的振动,包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度感应器来传感外界传入的振动,根据将外界的压力数据转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中,然后改换能器形成一个与传入压力大小相等,相位相对的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜,光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动,提供稳定的测试环境。
产品亮点:
六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单
系统主动检测输入振动并动态消除
紧凑、模块化的多功能设计
稳定性高,能无故障连续使用多年
无低频共振、无空气要求
应用范围:
超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM)
光刻工具
高精度计量工具
光谱仪器
升级选项:
可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸至0.5Hz。
主动式防震台-隔振台-减振台-AVI-600技术参数:
型号:AVI-600XL/LP
系统配置:独立隔振装置 & 控制装置
主动隔振范围:大致为1.0 Hz - 200 Hz
被动隔振范围:大致为200 Hz以上
显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
LEDs 指示输出阶段的过载情况。
单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm
控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
隔振单元重量: 34kg
负载能力:1200 kg (同等/低重心)
输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
功耗:通常27W
校正力:水平最大12N,垂直最大24N
系统噪音:0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
静态柔度:垂直约1μm/N,水平约2 μm/N
温度范围:5℃ - 40℃
相对湿度:10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)
室内/室外使用:仅用于室内
应用案例介绍:
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注:对于医疗器械类产品,请先查证核实企业经营资质和医疗器械产品注册证情况。